氮化硅陶瓷的燒結方式
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燒結方法 | 製備原理 | 優點 | 缺點 |
反應燒結 | 把Si粉或Si粉與Si3N4粉的混合物成型後進行預氮化,再在1400℃左右完全氮化 | 燒結無收縮,使用於製造形狀複雜,尺寸精確的零件,成本低,不需要添加劑 | 氮化時間較長 |
熱壓燒結 | 對氮化硅粉末和燒結助劑在高温下單向加壓燒結 | 所得陶瓷與反應燒結相比,強度高,密度大,緻密度高,製造週期短。 | 製造成本高,燒結設備複雜,機械加工困難 |
常壓燒結 | 高純氮化硅粉末與少量燒結助劑混合,通過燒結、成型等工序製備 | 可獲得形狀複雜,性能優良的陶瓷 | 燒結收縮率較大,一般為16-26%,製品易開裂變形 |
氣壓燒結 | Si3N4壓坯在5-12Mpa的氮氣在1800-2100℃下進行燒結 | 所得陶瓷緻密度高,高韌性,高強度,可製備形狀複雜的製品,適合大規模生產 | 燒結温度高 |
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