無塵車間管理制度多篇

無塵車間管理制度 篇一

公司無塵車間管理的原則

1進入潔淨室的管理，包括對潔淨室工作人員進入、物料進入、各類設備的搬入以及相關的設備、管線的維護管理，應做到不得將微粒、微生物帶入潔淨室。

2操作管理技術，對潔淨室內人員用潔淨工作服的製作、穿着和清洗；操作人員的移動和動作；室內設備及裝修材料的選擇和清掃、滅茵等，儘可能地減少、防止潔淨室內塵粒、微生物的產生、滯留、繁殖等。

3嚴格各類設備、設施的維護管理，制定相應的操作規程，保證各類設備、設施按要求正常運轉，包括淨化空調系統、各類水氣電系統、生產工藝設備和工器具（工裝夾具）等。以確保產品生產工藝要求和空氣潔淨度等級。

4清掃、滅菌管理，對潔淨室內的各類設備、設施的清掃、滅茵以及方法、週期和檢查作明確的規定，防止、捎除潔淨室內塵粒、微生物的產生、滯留、繁殖。

5潔淨室環境控制的內容包括:空氣淨化、潔淨建築、與產品直接接觸的水或氣體或化學品和生產設備、工器具等的污染物控制以及微振動、噪聲、靜電的控制、防止等。

無塵車間管理制度 篇二

一．無塵車間管理的目的

半導體產品生產過程對車間有明確的潔淨要求，為了滿足生產工藝需要、保證產品質量、安全生產，必須對潔淨室的環境、人員、物料、設備、生產過程等進行控制。

二．無塵車間管理的原則

1、進入潔淨室的管理，包括對潔淨室工作人員進入、物料進入、各類設備的搬入以及相關的設備、管線的維護管理，應做到不得將微粒、微生物帶入無塵車間。

2、操作管理技術，對潔淨室內人員用潔淨工作服的製作、穿着和清洗；操作人員的移動和動作；室內設備及裝修材料的選擇和清掃、滅茵等，儘可能地減少、防止潔淨室內塵粒、微生物的產生、滯留、繁殖等。

3、嚴格各類設備、設施的維護管理，制定相應的操作規程，保證各類設備、設施按要求正常運轉，包括淨化空調系統、各類水氣電系統、生產工藝設備和工器具（工裝夾具）等。以確保產品生產工藝要求和空氣潔淨度等級。

4、清掃、滅菌管理，對潔淨室內的各類設備、設施的清掃、滅茵以及方法、週期和檢查作明確的規定，防止、捎除潔淨室內塵粒、微生物的產生、滯留、繁殖。

5、潔淨室環境控制的內容包括：空氣淨化、潔淨建築、與產品直接接觸的水或氣體或化學品和生產設備、工器具等的污染物控制以及微振動、噪聲、靜電的控制、防止等。

三、適用範圍

公司所有無塵生產區及潔淨輔助間（包括人員淨化用室、物料淨化用室和無塵倉庫管理室等）、車間內管理區（包括部分辦公、值班、管理和體息室等）和將來新建、改建、擴建的無塵廠房及其輔助用房。

四、無塵車間潔淨度定期檢測制度/測量標準

1、為了保證潔淨室的潔淨度滿足工藝要求，必須定期對潔淨室內的潔淨度進行檢測。

2、檢測測試設備：激光粒子記數器

3、檢測週期：每週一上午、下午對各潔淨區域進行一次檢測5.2、。4、檢測條件：靜態潔淨度測試

5、數據收集整理：將每次檢測的結果輸入監控室的電腦中儲存，並在每個季度末（或下季度初）給各部門發該季度的潔淨度記錄圖表電子檔通報給各部門。

6、各潔淨區域潔淨級別標準：按照《半導體公司能源管理標準》要求執行。

7、潔淨室用淨化空調系統及設備的。維護管理與相應的操作規程、維修制度等（包括淨化空調系統和潔淨室相關的公用動力系統的設備、管線等管理維護，如，空氣過濾器、空調機、局部淨化設備、冷凍機及水泵、純水設備、配電設備、安全報警設施等）執行威世半導體（西安）有限公司廠務部相關SOP文件。

五、潔淨室人員管理制度

潔淨室的人員管理包括：制定專職管理人員的職責、潔淨室人員的准入制度、人員培訓教育規定、進入潔淨室人員的“人淨程序”管理和退出管理制度等。

六、人員淨化與進入

1、在潔淨廠房內眾多的污染源中，人是主要污染源之一，尤其是工作人員在潔淨環境中的活動，會明顯地增加潔淨環境的污染程度。

2、對於高級別潔淨區域，應嚴格控制進入人員數量，並規範進行二次更衣。

3、要獲得生產環境所需要的空氣潔淨度等級或延長空氣過濾器的使用壽命，對進入潔淨室的人員、物料進行淨化十分必要。

4、為保持潔淨室空氣潔淨度，應儘量減少進入潔淨室人員帶入的污染物。所有進人潔淨室的人員必須嚴格地按規定程序進行人身淨化。

5、個人衣服物品全部放到指定的櫃子裏，去掉化粧，換上指定的服裝，按空氣潔淨度等級相應的脱衣順序脱衣，放在規定的衣櫃內。

6、進入脱衣室，在更衣凳前將皮鞋、拖鞋、帆布鞋等脱下放在鞋櫃內，禁止不脱鞋直接跨越更衣凳而進入更衣室。

7、若公司後期發展需要更高潔淨級別要求的潔淨區域（指高於ISOClass7、級別）進入前，需要設置盟洗室用洗手器洗手（先用潔淨洗滌劑洗滌，

8、凡是交叉污染的媒介，要經常洗滌。不要用手觸及高淨化產品和高淨化包裝材料等。要按規定戴手套和指套。再用潔淨水沖洗。洗滌後用自動烘手器烘乾）。

無塵車間管理制度 篇三

1、目的:制定無塵車間作業環境的監控和測量通用指示，使無塵車間的作業環境處於受控狀態，從而

保證產品的質量。

2、範圍:atc亞通光電的所有無塵車間的作業環境監控和測量。

3、定義:無

4、職責:品保部ipqc負責無塵車間所有管理規定的監控。

5、工作程序:

5.1温濕度管理:

5.1.1温濕度規格:

atc亞通公司萬級無塵車間的温濕度控制範圍為23℃±5℃，濕度控制範圍為65%±15%。

5.1.2測量方法:

測試時温濕度的探頭要求離地面≥1.2m,温濕度儀測試顯示值要基本穩定時才能讀取數據。

5.1.3測試頻率:

作業部門分白/晚班各2次:

白班10:00及15:00左右進行測試，晚班22:00及3:00左右進行測試:

5.1.4管理方法:

各温濕度記錄擔當者按規定時間測試温濕度並填寫《温濕度記錄表》。如果温濕度值超過

規定值範圍之外時，立即通知生產主管停止產線作業，並聯絡設備管理人員立刻進行改善，並將

做出當温濕度值達到控制的範圍後方可再恢復生產:

同時發《ipqc不良改善通知書》要求相關部門擬對策，並追蹤有效性:

温濕度表格每月一張，由現場qc負責更換表格，現場qc在每月交換記錄表表格的同時，

核對當月內有無異常情況，以及管理是否是正常進行；

5.1.5注意事項:非空調狀態禁止生產；

5.1.6附《背光源車間無塵度、温濕度監測點示意圖》。

5.2微塵粒子管理

5.2.1微塵粒子規格:目前我們公司使用的無塵車間等級為萬級無塵車間；

無塵車間管理制度 篇四

無塵車間潔淨服管理制度

潔淨服的管理包括:潔淨服採購和製作（含材料選擇）、潔淨服使用管理、潔淨服的清洗規定等。

1潔淨服採購和製作

1.1潔淨服必須選用由專業廠家製作的合格產品。

1.2潔淨服必須滿足工藝對潔淨/防靜電等的全部要求。

2潔淨工作服使用管理基本原則

2.1人員進入潔淨室首先由個人潔淨工作服專用櫃或收納處取出潔淨工作服，若潔淨工作服尚未開封，需仔細切開包裝拿出服裝，不沾帶包裝料碎屑。

2.2穿衣時，不要使衣服觸及地板、桌子、椅子等物品，不要沾污袖子和褲腿下襬，姿勢要保持直立，按從上至下順序穿衣[戴帽→穿衣（分體潔淨服先上衣後褲子）→穿鞋]，必要時須設置專用的穿衣台。

2.3戴兜帽和帽子時要把頭髮全部遮住，頭部緊緊地包在兜帽內。

2.4若不穿潔淨鞋而採取代用鞋套的臨時措施，穿鞋套時要把褲腿下襬緊緊地裹在鞋套內。

2.5在不違反潔服使用管理基本原則前提下，生產線可細化出實用的和可操作性強的具體規定。

3潔淨服的清洗規定

3.1潔淨服的清洗若採取外協形式，清洗公司應選取經考察合格的專業清洗公司。

3.2潔淨服的清洗液不得對潔淨服的性能有影響；潔淨服的面料清洗後不允許有脱絲、掉渣。

3.3清洗後的衣物防靜電織物性能不應被破壞，若被破壞，應及時報廢或降級使用，降級使用應有明顯標記且禁止在有防靜電要求的區域內使用。

3.4清洗完成的潔淨服應進行可靠包裝後運送及存放，避免與外界的交叉污染。

無塵車間管理制度 篇五

無塵車間潔淨室人員管理制度

1潔淨室的人員管理包括:制定專職管理人員的職責、潔淨室人員的准入制度、人員培訓教育規定、進入潔淨室人員的人淨程序'管理和退出管理制度等。

2人員淨化與進入

2.1在潔淨廠房內眾多的污染源中，人是主要污染源之一，尤其是工作人員在潔淨環境中的活動，會明顯地增加潔淨環境的污染程度。

2.2對於高級別潔淨區域，應嚴格控制進入人員數量，並規範進行二次更衣。

2.3要獲得生產環境所需要的空氣潔淨度等級或延長空氣過濾器的使用壽命，對進入潔淨室的人員、物料進行淨化十分必要。

2.4為保持潔淨室空氣潔淨度，應儘量減少進入潔淨室人員帶入的污染物。所有進人潔淨室的人員必須嚴格地按規定程序進行人身淨化。

2.5個人衣服物品全部放到指定的櫃子裏，去掉化粧，換上指定的服裝，按空氣潔淨度等級相應的脱衣順序脱衣，放在規定的衣櫃內。

2.6進入脱衣室，在更衣凳前將皮鞋、拖鞋、帆布鞋等脱下放在鞋櫃內，禁止不脱鞋直接跨越更衣凳而進入更衣室。

2.7若公司後期發展需要更高潔淨級別要求的潔淨區域（指高於iso class7級別）進入前，需要設置盟洗室用洗手器洗手（先用潔淨洗滌劑洗滌，再用潔淨水沖洗。洗滌後用自動烘手器烘乾）。

2.8凡是交叉污染的媒介，要經常洗滌。不要用手觸及高淨化產品和高淨化包裝材料等。要按規定戴手套和指套。

3潔淨室工作人員須知

3.1進入潔淨室的人員應嚴格執行人身淨化制度、路線和程序，任何人不得隨意更改。在潔淨室內必須按規定着衣、戴帽、換鞋。

3.2進入潔淨級別1萬級以及高於萬級的潔淨區域，必須至少經過二次更衣。可先從一次更衣室進入，進行更鞋、脱外衣、換潔淨服、戴口罩、帽子（或潔淨頭套）後，經過走廊進入二次更衣室，進行二次更衣、更鞋、戴防靜電腕帶、戴口罩、戴帽子，確認更換完畢後，進入風淋室進行風淋後，才能進入萬級以及高於萬級的潔淨區域。

3.3嚴禁不通過風淋而直接走旁通門進入潔淨室。旁通門只允許人員出到潔淨間外以及發生緊急情況時的進出。

3.3.1風淋室使用須知

a.風淋室是工作人員進入淨化區域前進行人身淨化的專用設備，它能將人體表面吸附着的塵埃用高速氣流吹去，使工作人員不帶污染源進入淨化區域，並能使淨化區域與非淨化區域起到氣閘作用。

b.風淋室設定和狀態:風淋室在投入使用前必須完成調試和設定，使之保持自動風淋狀態。

c.風淋室使用

-使用者無需按任何鍵即可開門進入風淋室內，人數每次限定三人，把門關好即可自動風淋，風淋時旋轉身體360度，等待風機停止工作以後蜂鳴響，內門開鎖，用户出風淋室。

）本站●（-按'照明開'鍵即可打開室內照明燈。

-風淋室的微電腦對所做設定有記憶功能，關閉風淋室電源再次打開電源時風淋室處於上次操作的最後設定狀態。

-禁止一線使用者對設備的數值設定進行更改，數據更改必須由專業的管理人員進行。

-禁止使用者野蠻對風淋室的門（紅外電控鎖）強行推拉而損壞設備。

-風淋設備若因使用不當而損壞，使用部門應據實反映損壞原因，並立即報修。

-一線員工在使用過程中發現狀態異常，應立即通知主管部門進行處理；並停止使用風淋室。

d.風淋室正常/異常狀態的界定:

1、風淋室正常初始化自檢:打開電源操作面板led數碼顯示時間點亮，同時電腦控制器做一次檢測，二門是否關閉，有門開着則等待關門，如果二門都關閉則自動進入正常工作狀態。

2、正常工作狀態

-如果系統處於不工作狀態:按電源開關鍵使系統處於工作狀態，led被點亮。

-按照明開/關則風淋室燈被點亮或熄滅，人員可根據需要循環選擇。

-系統處於正常等待工作狀態時，風淋室的兩扇門處於關閉未鎖狀態。

3、異常狀態:噴嘴出現微弱風速、門不能正常關閉或開啟、電源操作面板無顯示。

3.3 。2進出風淋室流程機理:

-進入:當外門（紅外電控鎖）被打開時，內門（紅外電控鎖）自動閉鎖。如果用户進入風淋室，經過紅外探頭，風機將自動工作一定時間，此時內外門均閉鎖，風機停止工作以後蜂鳴響，內門開鎖，用户出風淋室。開門、關門整個過程結束。

-退出:當內門被打開時外門自動閉鎖，用户關門後，則內外門均開鎖，用户可以從任意門出風淋室。開門、關門，整個過程結束。

3.4作業人員在潔淨室內工作時，動作要輕。嚴格執行操作規程，不允許跑跳、打鬧及喊叫，不作不必要的動作，不作易發塵和大幅度的動作。

3.5作業人員在潔淨室內工作時，儘量避免人員聚集現象。若個別工位無特殊協作需求，其他工位員工禁止聚集、圍觀與自己工位工作不相干的其他工位正常工作事件。

3.6為不干擾氣流，在作業區上游側不應放物品，生產操作一般應在潔淨工作台或氣流的上游進行。

3.7不允許將與生產無關和容易產塵的物品帶入潔淨室，嚴禁在潔淨室內吸煙、飲食和進行非生產性活動。

3.8患有以下幾種疾病的員工是不宜進入潔淨室的:呼吸系統疾病（如嚴重的感冒咳嗽等，患者除了會傳播病菌、病毒外，還會因咳嗽而產生大量的污濁顆粒混入潔淨的空氣中）、皮膚疾病（如明顯脱皮、掉皮屑的皮炎等）；針對上述情形若採取了可靠的額外人淨措施時是可以進入潔淨室的。

4潔淨室人員退出時應注意的事項

4.1為了防止再次進入和往返作業對潔淨室造成交叉污染按規定的順序退出潔淨室。

4.2潔淨室人員在作業中途和作業完畢在退出到更衣區之前不得脱掉潔淨工作服，進入更衣室先脱潔淨室用鞋，放在規定的場所。

4.3必要時脱鞋前洗手，脱鞋後再摘掉帽子，放在規定處。

4.4脱潔淨工作服時不要觸及地板、桌子和其他物品，對於潔淨服一般由下至上脱（由下至上是指先脱鞋、再脱衣、再去除帽子和口罩），用衣架掛在規定的處所。

4.5脱去潔淨工作服以後，若需再進潔淨室時，仍需按進入潔淨室的順序進行人淨。

4.6退出10k及其以下級別潔淨室時不需要經過空氣吹淋。直接走旁通門退出10k潔淨室是允許的。

4.7不能穿潔淨工作服上廁所及進入動力設備間、倉庫等非潔淨區域。

無塵車間管理制度 篇六

無塵車間潔淨室施工管理制度

1背景

1.1半導體制造業必須在潔淨的環境中進行，在施工中必須遵循行業規則和程序。本文件列出了這些規則和程序的概要。為了保證項目的成功，現場的每一位人員都必須遵守。

1.2圖紙上對於施工的潔淨建設草案將被強制執行。這包括除了原料和成品倉庫以外的所有主廠房內的地方。

1.3潔淨室施工管理制度目前主要針對一期主廠房內的局部改造和擴建，後期所有潔淨室施工項目仍按照本制度規定的原則進行管理。

2責任與義務

2.1所有承包商有責任確保他們的工人都瞭解這些規則和程序，並且在他們疏於遵從或違反時給予培訓和訓練。被分配到潔淨建設區域的每位工人有責任和義務理解並遵守潔淨建設規則和程序。

2.2承包商負責執行潔淨室草案。他將每天對潔淨建設區域進行檢查，並填寫檢查清單。承包商負責提供潔淨室所需物品，例如:鞋套，毛巾，墊子和工裝。他也負責提供每日執行潔淨規則和程序的人員和設備。

2.3承包商建造區域入口並對其進行管理。他提供清洗晾曬每個入口處鞋、外套和衣服的清洗店。他將對在潔淨區域工作的人員進行培訓，並維護被允許在此區域工作的人員身份認定和管理。

2.4開始階段，承包商應在每個入口處安排人員（除非半導體公司在該入口處安排有人員）以確保本規則和程序的執行。

2.5重複違反規則和程序的人員將被開除。沒有貫徹執行本規則和程序的供應商將被除名。

3草案細則

潔淨室草案分為三部分，每一部分對應施工的一個過程。施工接近完工階段，不允許從外面或潔淨區域的施工場地帶入髒物。

3.1第一部分

-第一部分主要針對直到主要施工完成後。包括屋頂，覆層，門和窗户。所有工人必須從圖紙上標明的通道進出施工現場。每個入口將會有清洗店。所有工人進入必須保持鞋子乾淨。不允許穿奇特的服裝，工人的衣服應該保持適當的乾淨。現場安全規則必須時刻遵守。

-所有設備和材料必須從一個入口進入施工現場，並且保持乾淨，不允許有碎片掉下。

-施工現場內不允許吃東西，吸煙，喝酒。

-每班結束時，必須清走所有垃圾和廢舊物品。總之，整個施工現場每天必須保持乾淨。

3.2第二部分

-第二部分主要針對直到gridline b西邊潔淨區域的內牆完成。此時，只允許承包商僱傭的工人在潔淨區域。其他供應商如果要進入潔淨區域，必須提前向承包商提出申請，得到允許後方可進入。工人、設備和材料的入口是經過威世半導體（西安）有限公司管理人員同意的。

gridlines 1和2之間的通向成品倉庫的外門。

gridlines 15和16之間的通向原料倉庫的外門。

-其它入口必須經過潔淨工程承包商的書面批准。兩個入口旁邊將會為很可能造成污染的材料準備或拆包預留區域。進如潔淨區域之前，材料和設備不允許有髒物或由掉下，並且應該用乾淨的乾布擦拭乾淨。

-任何可能會造成污染的活動必須必須提前經過潔淨工程承包商的批准。這包括砂紙打磨，碾，開鑿，演練，焊接，切割和任何用水或噴淋工作。承包商要用任何可能的方法預防污染。

-裝好的地板必須用pvc板包裝保護。

-第一部分提到的必要的衣服、鞋套也是必須的。

-第二部分草案執行期間，潔淨區域必須每天吸塵。

3.3第三部分

-第三部分主要針對直到生產車間全部建成。氣體鼓風機將持續運行以維護房間的壓力要求。

-進入的工人穿鞋套和工作服。

-所有進入潔淨區域的材料，工具和設備要用ipa和水的混合物擦拭。

-在第三部分草案執行期間，潔淨區域每天要用有過濾裝置的洗塵設備吸塵。

4潔淨安裝

-必須採取潔淨措施保持安裝潔淨。

-各類部件如節氣閘，擴散體在進入施工現場時應潔淨並且拆掉包裝。內部表面應該用ipa和水的混合物擦拭。

-潔淨安裝過程中，必須密切關注所採取的潔淨措施的可靠程度，對於隔離圍護設施一定要作到及時發現、立即糾正。

5最後潔淨

-潔淨區域的所有安裝完成後，要進行最後潔淨。潔淨要用ipa和水的混合物擦拭。先潔淨天花板，然後是牆壁，牆壁應從上到下，最後是地面。

-最後潔淨完成後，gridline b東邊通過的區域將是唯一進入潔淨室的通道。以前的原料成品倉庫入口將被保護。

-最後潔淨完成後，任何進入的人都必須通過威世半導體（西安）有限公司現場經理的批准。

6設備、物品進入潔淨室規定

無塵車間管理制度 篇七

無塵車間管理術語

潔淨生產區是潔淨廠房的主要部分，對潔淨級別有明確規定的區域。

潔淨輔助間是潔淨廠房不可缺少的必備房間。潔淨輔助間對潔淨廠房的平面關係密切，對潔淨廠房的建造帶來影響和投產後能否滿足產品生產的需要以及能否可靠地防止生產過程的污染或交叉污染至關重要。

管理區是潔淨廠房內的產品生產過程的生產管理、技術管理用房和必要的操作人員的休息、福利用房。

設備區即淨化空調系統、公用動力系統等用房，是潔淨廠房的重要組成部分。